发明名称 FLUORINATED ORGANOSILANE COMPOUND FOR PRODUCING MOLD USED FOR REPLICATING PATTERNS, ORGANIC-INORGANIC HYBRID MOLD FOR PATTERN REPLICATION PRODUCED BY USING THE SAME, METHOD OF REPLICATION OF PATTERN USING THE MOLD AND PATTERN REPLICATED BY THE METHOD
摘要
申请公布号 KR100700435(B1) 申请公布日期 2007.03.27
申请号 KR20050051011 申请日期 2005.06.14
申请人 发明人
分类号 G03F7/00;G03F7/075;H01L21/027 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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