METHOD TO PROTECT INTERNAL COMPONENTS OF SEMICONDUCTOR PROCESSING EQUIPMENT USING LAYERED SUPERLATTICE MATERIALS,申请号KR20050076694-传众专利搜索

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发明名称	METHOD TO PROTECT INTERNAL COMPONENTS OF SEMICONDUCTOR PROCESSING EQUIPMENT USING LAYERED SUPERLATTICE MATERIALS
摘要
申请公布号	KR100699763(B1)	申请公布日期	2007.03.27
申请号	KR20050076694	申请日期	2005.08.22
申请人		发明人
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
地址

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