发明名称 SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND METHOD USING TWO ARMS CAPABLE OF LOADING/UNLOADING PROPER SUBSTRATE TO/FROM CHAMBER
摘要
申请公布号 KR20070033925(A) 申请公布日期 2007.03.27
申请号 KR20060091880 申请日期 2006.09.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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