GAS DRIVEN ROTATING SUSCEPTOR FOR RAPID THERMAL PROCESSING RTP SYSTEM,申请号KR20017007286-传众专利搜索

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发明名称	GAS DRIVEN ROTATING SUSCEPTOR FOR RAPID THERMAL PROCESSING RTP SYSTEM
摘要
申请公布号	KR100700236(B1)	申请公布日期	2007.03.26
申请号	KR20017007286	申请日期	2001.06.11
申请人		发明人
分类号	A62C37/00;H01L21/324	主分类号	A62C37/00
代理机构		代理人
主权项
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