发明名称 ELECTROSTATIC CHUCK
摘要
申请公布号 KR20070032966(A) 申请公布日期 2007.03.23
申请号 KR20067027690 申请日期 2005.06.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/687 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
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