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发明名称 SUSCEPTOR FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR AND LIQUID PANEL AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100701510(B1) 申请公布日期 2007.03.23
申请号 KR20060083132 申请日期 2006.08.30
申请人 CHOI, JIN YEOL 发明人 HONG, YEON HEUI;CHOI, JIN YEOL
分类号 H01L21/683;H01L21/687 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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