ELEKTRISCHE VERSORGUNGSEINHEIT UND VERFAHREN ZUR REDUKTION DER FUNKENBILDUNG BEIM SPUTTERN,申请号DE20005014029-传众专利搜索

发明名称	ELEKTRISCHE VERSORGUNGSEINHEIT UND VERFAHREN ZUR REDUKTION DER FUNKENBILDUNG BEIM SPUTTERN
摘要
申请公布号	DE50014029(D1)	申请公布日期	2007.03.22
申请号	DE20005014029	申请日期	2000.08.29
申请人	OERLIKON DEUTSCHLAND HOLDING GMBH	发明人	KLOEPPEL, ANDREAS;DAUBE, CHRISTOPH;STOLLENWERK, JOHANNES;LINZ, THOMAS
分类号	H01J37/34;H05H1/46;C23C14/34;H01L21/3065;H05H1/00	主分类号	H01J37/34
代理机构		代理人
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