Lasermikrobearbeitungsstation

摘要

Die Erfindung betrifft eine Lasermikrobearbeitungsstation, zumindest umfassend einen UV-Laser mit einer Wellenlänge kleiner als 200 nm, eine Vorrichtung zur Strahlformung, eine Vorrichtung zum Abbilden des Laserstrahls auf das zu bearbeitende Substrat und ein Positioniersystem, welches in einer Bearbeitungskammer angeordnet ist. DOLLAR A Die Vorrichtung zur Strahlformung besteht aus zumindest mehreren reflektierenden Bauteilen. Die Vorrichtung zur Strahlformung und die Vorrichtung zum Abbilden des Laserstrahls sind in einem druck- und vakuumdichten Kammersystem angeordnet, welches evakuierbar und mit zumindest einem Inertgas oder Inertgasgemisch befüllbar ist. Die Bearbeitungskammer ist druck- und vakuumdicht, ebenfalls evakuierbar und mit zumindest einem Inertgas oder Inertgasgemisch befüllbar.