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发明名称
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer haftenden Substratoberfläche
摘要
申请公布号
DE60218044(D1)
申请公布日期
2007.03.22
申请号
DE20026018044
申请日期
2002.10.11
申请人
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES S.A.
发明人
MALEVILLE, CHRISTOPHE;MAUNAND-TUSSOT, CORINNE
分类号
H01L21/00;H01L21/306;H01L21/316
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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