发明名称 Verwendung eines spektroskopischen Ellipsometers
摘要
申请公布号 DE60217989(D1) 申请公布日期 2007.03.22
申请号 DE20026017989 申请日期 2002.04.16
申请人 HORIBA LTD. 发明人 KANZAKI, TOYOKI
分类号 G01B11/06;G01N21/21;G01J3/447;G01J4/04 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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