| 发明名称 |
Integrierte opto-elektronische Schaltung mit ZnO-Schicht als Lichtwellenleiter |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19913355(B4) |
申请公布日期 |
2007.03.22 |
| 申请号 |
DE1999113355 |
申请日期 |
1999.03.24 |
| 申请人 |
MURATA MFG. CO. LTD. |
发明人 |
NANISHI, YASUSHI;KADOTA, MICHIO |
| 分类号 |
H01L27/144;H01L21/203;H01L27/15;H01L31/103;H01L33/12;H01L33/32;H01L33/34;H01S5/02;H01S5/026;H01S5/323 |
主分类号 |
H01L27/144 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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