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发明名称
摘要
申请公布号 JP3894354(B2) 申请公布日期 2007.03.22
申请号 JP19990218003 申请日期 1999.07.30
申请人 发明人
分类号 C07F1/08;C07F1/10;C07F15/00;C23C16/18;H01L21/285 主分类号 C07F1/08
代理机构 代理人
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