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发明名称 FILM FORMING APPARATUS AND METHOD OF FILM FORMATION
摘要
申请公布号 CA2621434(A1) 申请公布日期 2007.03.22
申请号 CA20062621434 申请日期 2006.07.14
申请人 FUJIKURA LTD. 发明人 SUZUKI, YASUO;TANABE, NOBUO;KAWASHIMA, TAKUYA;GOTO, KENJI
分类号 H01B13/00;C03C17/25;C23C18/02 主分类号 H01B13/00
代理机构 代理人
主权项
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