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发明名称
摘要
申请公布号	JP3896590(B2)	申请公布日期	2007.03.22
申请号	JP20020312993	申请日期	2002.10.28
申请人		发明人
分类号	H01L43/04;G01R15/20;G01R19/00;G01R33/07	主分类号	H01L43/04
代理机构		代理人
主权项
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