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发明名称 Methods and systems for simultaneously fabricating multi-frequency MEMS devices
摘要
申请公布号 AU2004210952(B2) 申请公布日期 2007.03.22
申请号 AU20040210952 申请日期 2004.02.09
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC. 发明人 WILLIAM P. PLATT;DAVID K. ARCH;BURGESS R. JOHNSON;MARK W. WEBER;MAX C. GLENN
分类号 G01C19/5656 主分类号 G01C19/5656
代理机构 代理人
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