| 发明名称 |
Dry Etching Apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100698871(B1) |
申请公布日期 |
2007.03.22 |
| 申请号 |
KR20010039525 |
申请日期 |
2001.07.03 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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