| 主权项 |
1.一种形成一保温筒之方法,其包含以下步骤: 将复数个石英翼片卡设于至少一支柱上,其中该复 数个石英翼片包含至少一石英翼片由以下步骤形 成: 提供一不透明石英基板,该不透明石英基板包含相 对的一第一表面以及一第二表面:以及 将透明石英以熔接的方式于该不透明石英基板之 第一表面形成一第一薄层,藉此包覆该第一表面。 2.如申请专利范围第1项所述之形成保温筒方法,另 包含以下步骤:将透明石英以熔接的方式于该不透 明石英基板之第二表面形成一第二薄层,藉此包覆 该第二表面。 3.如申请专利范围第1或2项所述之形成保温筒方法 ,其中该熔接步骤系以放射状方向将透明石英熔接 于该不透明石英基板之表面。 4.如申请专利范围第1或2项所述之形成保温筒方法 ,其中该熔接步骤系以同心圆方向将透明石英熔接 于该不透明石英基板之表面。 5.如申请专利范围第1或2项所述之形成保温筒方法 ,其中该熔接步骤系以水平方向将透明石英熔接于 该不透明石英基板之表面。 6.一种保温筒,其包含: 至少一支柱:以及 复数个石英翼片卡设于该支柱上, 其中该复数个石英翼片中至少有一石英翼片包含; 一不透明石英基板,该不透明石英基板包含相对的 一第一表面以及一第二表面:以及 一第一薄层包覆该第一表面,其中该第一薄层系由 透明石英以熔接的方式形成,该第一薄层之特征在 于具有条状分布的表面。 7.如申请专利范围第6项所述之保温筒,其中该石英 翼片另包含一第二薄层包覆该第二表面,其中该第 二薄层系由透明石英以熔接的方式形成。 8.如申请专利范围第7项所述之保温筒,其中该第二 薄层之具有条状分布的表面。 9.如申请专利范围第6或8项所述之保温筒,其中该 薄层具有放射条状分布的表面。 10.如申请专利范围第6或8项所述之保温筒,其中该 薄层具有同心圆条状分布的表面。 11.如申请专利范围第6或8项所述之保温筒,其中该 薄层具有水平条状分布的表面。 12.如申请专利范围第6项所述之保温筒,其中该不 透明石英基板系为圆盘状。 13.一种反应容器,其包含: 一石英内管; 一石英外管罩设于该石英内管外;以及 一保温筒设于该石英内管内部,其中该保温筒包含 : 至少一支柱:以及 复数个石英翼片卡设于该支柱上, 其中该复数个石英翼片中至少有一石英翼片包含; 一不透明石英基板,该不透明石英基板包含相对的 一第一表面以及一第二表面:以及 一第一薄层包覆该第一表面,其中该第一薄层系由 透明石英以熔接的方式形成。 14.如申请专利范围第13项所述之反应容器,其中该 第一薄层之具有条状分布的表面。 15.如申请专利范围第13项所述之反应容器,其中该 石英翼片另包含一第二薄层包覆该第二表面,其中 该第二薄层系由透明石英以熔接的方式形成。 16.如申请专利范围第15项所述之反应容器,其中该 第二薄层之具有条状分布的表面。 17.如申请专利范围第14或16项所述之反应容器,其 中该薄层具有放射条状分布的表面。 18.如申请专利范围第14或16项所述之反应容器,其 中该薄层具有同心圆条状分布的表面。 19.如申请专利范围第14或16项所述之反应容器,其 中该薄层具有水平条状分布的表面。 20.如申请专利范围第13项所述之反应容器,其中该 不透明石英基板系为圆盘状。 21.一种反应容器,其包含: 一石英内管;以及 一石英外管罩设于该石英内管外, 其中该石英外罩至少有一部份包含不透明石英,该 不透明石英面对该反应容器内部的表面上包覆有 一薄层,该薄层系由透明石英以熔接的方式形成。 22.如申请专利范围第21项所述之反应容器,其中该 薄层之具有条状分布的表面。 23.如申请专利范围第21项所述之反应容器,其中该 薄层具有水平条状分布的表面。 24.一种形成石英元件之方法,其包含以下步骤: 提供一不透明石英基板,该不透明石英基板包含相 对的一第一表面以及一第二表面:以及 将透明石英以熔接的方式于该不透明石英基板之 第一表面形成一第一薄层,藉此包覆该第一表面。 25.如申请专利范围第24项所述之形成石英元件方 法,另包含以下步骤: 将透明石英以熔接的方式于该不透明石英基板之 第二表面形成一第二薄层,藉此包覆该第二表面。 26.如申请专利范围第24或25项所述之形成石英元件 方法,其中该熔接步骤系以放射状方向将透明石英 熔接于该不透明石英基板之表面。 27.如申请专利范围第24或25项所述之形成石英元件 方法,其中该熔接步骤系以同心圆方向将透明石英 熔接于该不透明石英基板之表面。 28.如申请专利范围第24或25项所述之形成石英元件 方法,其中该熔接步骤系以水平方向将透明石英熔 接于该不透明石英基板之表面。 29.一种石英元件,其包含: 一不透明石英基板,该不透明石英基板包含相对的 一第一表面以及一第二表面:以及 一第一薄层包覆该第一表面,其中该第一薄层系由 透明石英以熔接的方式形物。 30.如申请专利范围第29项所述之石英元件,其中该 第一薄层之具有条状分布的表面。 31.如申请专利范围第29项所述之石英元件,另包含 一第二薄层包覆该第二表面,其中该第二薄层系由 透明石英以熔接的方式形成。 32.如申请专利范围第31项所述之石英元件,其中该 第二薄层之具有条状分布的表面。 33.如申请专利范围第30或32项所述之石英元件,其 中该薄层具有放射条状分布的表面。 34.如申请专利范围第30或32项所述之石英元件,其 中该薄层具有同心圆条状分布的表面。 35.如申请专利范围第30或32项所述之石英元件,其 中该薄层具有水平条状分布的表面。 36.如申请专利范围第29项所述之石英元件,其中该 不透明石英基板系为圆盘状。 图式简单说明: 第一图为本发明一较佳实施例之石英元件之剖视 图 第二图为本发明一较佳实施例之热处理装置之示 意图。 第三图为本发明一较佳实施例之保温筒之立体图 。 第四图为本发明一较佳实施例之石英翼片表面示 意图。 第五图为本发明一较佳实施例之石英翼片表面示 意图。 第六图为本发明一较佳实施例之石英翼片表面示 意图。 第七图为本发明一较佳资施例之石英外管示意图 。 |
