| 主权项 |
1.一种同心圆环式气体质量流量控制装置,装设在 一气体管线中控制检测一气体的质量流量,该同心 圆环式气体质量流量控制装置包括: 一第一套管,其一端具有一第一管路接头而另一端 则具有一第一容置槽,在该第一容置槽与该第一管 路接头之间设有一滑槽,且在该第一套管上设有二 穿孔并贯穿至该滑槽内; 一第二套管,其一端具有一第二管路接头而另一端 具有与该第一容置槽直径相同之一第二容置槽,且 在该第二套管内设有一第一连管及一第二连管,以 导引该气体由该第二管路接头输出至该气体管线 中,将该第一套管及该第二套管组合,使该第一容 置槽与该第二容置槽形成一容置空间;以及 一层流元件,其系设置在该容置空间内,该层流元 件系由一第一圆柱体及一第二圆柱体藉由一连杆 连接而成,该第二圆柱体抵靠在该第一容置槽与该 第二容置槽中,使该第一圆柱体位于该滑槽内而具 有一第一缝隙,该二穿孔系位于该第一圆柱体两侧 ,且该第二圆柱体设有复数通气孔。 2.如申请专利范围第1项所述之同心圆环式气体质 量流量控制装置,其中,在该第一套管表面且位于 该二穿孔上更设有一流量感测器,利用该二穿孔之 分压流量使得该流量感测器产生温度变化以感测 该气体之流量变化,可单独使用具有模组化的设计 。 3.如申请专利范围第2项所述之同心圆环式气体质 量流量控制装置,其中,在该流量感测器系以锁固 方式设置在该第一套管表面上。 4.如申请专利范围第1项所述之同心圆环式气体质 量流量控制装置,其中,在该第二套管表面且位于 该第一连管及该第二连管之间更设有一流量控制 阀,用以调整控制该气体通过该第二连管之流量, 可单独使用具有模组化的设计。 5.如申请专利范围第1项所述之同心圆环式气体质 量流量控制装置,其中,该第一圆柱体前端系为圆 锥形式,使该气体流动时平滑流动。 6.如申请专利范围第1项所述之同心圆环式气体质 量流量控制装置,其中,该第一圆柱体、该第二圆 柱体及该连杆系为一体成型。 7.如申请专利范围第1项所述之同心圆环式气体质 量流量控制装置,其中,该第一套管及该第二套管 系利用锁固方式组合。 8.如申请专利范围第1项所述之同心圆环式气体质 量流量控制装置,其中,该层流元件更可设置一同 心套管,用以套住该第一圆柱体,且该同心套管与 该第一圆柱体间具有一第二缝隙。 9.如申请专利范围第8项所述之同心圆环式气体质 量流量控制装置,其中,该层流元件之该连杆上设 有一第一螺纹,而该同心套管内表面也设有一第二 螺纹,使该同心套管套设在该第一圆柱体时可螺合 固定。 10.一种气体流量感测装置,用以在一气体管线中感 测一气体的流量,该气体流量感测装置包括: 一套管,其一端具有一第一管路接头而另一端则具 有一容置槽,该套管上设有二穿孔贯穿至该容置槽 内; 一连接套管,其一端具有一第二管路接头,而另一 端之表面则与该套管相组合;以及 一流量感测器,其系设置在该套管表面且位于该二 穿孔上,利用该二穿孔之分压流量使得该流量感测 器产生温度变化计算出该气体流量。 11.如申请专利范围第10项所述之气体流量感测装 置,其中,该流量感测器系利用锁固方式设置在该 套管上。 12.一种气体流量控制装置,用以在一气体管线中控 制一气体的流量,该气体流量控制装置包括: 一套管,其一端具有一第一管路接头且另一端具有 一容置槽,在该套管内设有一第一连管及一第二连 管,该第一连管系连接该容置槽,而该第二连管则 连接该第一管路接头; 一连接套管,其一端具有一第二管路接头,而另一 端之表面则与该套管相组合;以及 一流量控制阀,其系设置在该套管表面且位于该第 一连管及该第二连管之间,用以调整控制该气体通 过该第二连管之流量。 图式简单说明: 第一图为本发明之立体图。 第二图为本发明之立体组合图。 第三图为本发明之剖面图。 第四图为本发明安装感测器及控制阀之立体图。 第五图为本发明另一态样之层流元件立体图。 第六图为本发明安装同心套管之剖面图。 第七a图为本发明之分流比测试之数据图。 第七b图为本发明在不同气体压力下测试之数据图 。 第七c图为本发明在不同气体温度下测试之数据图 。 第八图为本发明第一套管另一实施例之立体图。 第九图为本发明第二套管另一实施例之立体图。 |
