| 主权项 |
1.一种含有主要成分及烧结助剂的可机械加工之 陶瓷,其中主要成分含有氮化硼30-59.95质量%、氧化 锆40-69.95质量%、及氮化矽0-20质量%,且其中陶瓷为 近黑色。 2.一种含有主要成分及烧结助剂的可机械加工之 陶瓷,其中主要成分含有氮化硼30-59.95质量%、氧化 锆40-69.95质量%、氮化矽0-20质量%、及至少一种选 自由C、Si、长形周期表第四周期中IIIA-IVB族元素 、第五周期中IVA-VB族元素、第六周期中IVA-VIB族元 素、及这些元素的化合物所组成群组的染色添加 剂0.05 -2.5质量%(以元素计)。 3.如申请专利范围第2项之可机械加工之陶瓷,其中 至少一种染色添加剂系选自Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe 、Co、Ni、Cu、Zn、Mo及W金属及这些金属的氧化物 。 4.如申请专利范围第1至3项中任一项之可机械加工 之陶瓷,其中主要成分含有氮化矽至多20质量%。 5.如申请专利范围第1至3项中任一项之可机械加工 之陶瓷,在25-600℃的温度范围内,具有热膨胀系数 为3-510-6/℃。 6.一种制造如申请专利范围第1至5项中任一项之可 机械加工之陶瓷的方法,包含将含有氮化硼、氧化 锆、及至少一种染色添加剂与以主要成分粗原料 粉计的1-15质量%的烧结助剂混合,以获得粗原料粉, 并在高温及压力下烧结粗原料粉,以获得烧结体。 7.如申请专利范围第6项之方法,其中主要成分粗原 料粉进一步含有氮化矽。 8.一种探针导杆,含有如申请专利范围第1至5项中 任一项之可机械加工之陶瓷,具有多个狭缝及/或 探针,其可使探针通过。 图式简单说明: 图1a为习用探针卡的示意垂直截面。 图1b为设有具探针可伸入的穿孔之探针导杆的探 针卡示意垂直截面。 图1c为显示探针导杆中的穿孔配置平面。 图1d为图1c探针导杆的示意垂直截面。 图2为不同类型探针导杆的示意透视图,其为网形 并在接收探针的每一侧皆有狭缝。 图3为如图2所示网形探针导杆一个侧边元件的示 意垂直截面。 |
