发明名称 反射型液晶显示装置,其制造方法及电路板之制造方法
摘要 一种制造反射型液晶显示装置之方法,该装置包括第一基板;第二基板;及夹置于该第一基板及第二基板之间的显示媒质层。该第一基板包括用以施加电压于该显示媒质层之第一电极;该第二基板包括用以施加电压于显示媒质层之第二电极;该第一基板与显示媒质层邻近之处包括反光部分,以反射透过该第二基板入射于该反射型液晶显示装置上之光,并包括多个用以提供电压于该第一电极及第二电极之端子部;而该多个端子部中至少一个具有由氧化铟锡所形成之顶层,该顶层仅有顶面之平坦部曝出。该方法包括以下步骤:于第一基板中形成氧化铟锡层;于该氧化铟锡层制作布线图型以于至少一端子部中形成顶层;形成第一保护层以覆盖该顶层;形成主要由铝构成之金属层,以覆盖该第一保护;并至少部分去除该金属层及该第一保护层,以自该金属层形成反射部分,使至少一端子部仅曝露顶层顶面之平坦部。于形成第一保护层步骤之前,至少一端子部仅曝出该层顶面之平坦部,使该第一保护层仅于平坦部与该顶层接触。
申请公布号 TWI276865 申请公布日期 2007.03.21
申请号 TW087120672 申请日期 1998.12.11
申请人 夏普股份有限公司 发明人 金谷孝之;田素二;藤原敏昭;稻田纪世史
分类号 G02F1/133(2006.01) 主分类号 G02F1/133(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 1.一种制造反射型液晶显示装置之方法,该装置包 括第一基板;第二基板;及夹置于该第一基板及第 二基板之间的显示媒体层, 其中该第一基板包括用以施加电压于该显示媒体 层之第一电极;该第二基板包括用以施加电压于显 示媒体层之第二电极;该第一基板于该第一基板之 该显示媒体层侧包括反射部,以反射透过该第二基 板入射于该反射型液晶显示装置上之光,并包括多 个用以提供电压于该第一电极及第二电极之端子 部;而该多个端子部中之一个或全部具有由氧化铟 锡所形成之顶层,该顶层仅有顶面之平坦部露出; 该方法包括以下步骤: 于第一基板中形成氧化铟锡层; 将该氧化铟锡层形成图案以于该一个或全部的端 子部中形成顶层; 形成第一保护层以覆盖该形成图案之氧化铟锡层; 形成主要由铝构成之金属层,以覆盖该第一保护层 ;及 使该金属层不直接与氧化铟锡层接触而除去该金 属层及该第一保护层之一部分或全部,以形成由该 金属层所成之反射部,并使该一个或全部的端子部 仅露出顶层顶面之平坦部,其中 于形成第一保护层步骤之中,使一个或全部的端子 部仅露出该顶层顶面之该平坦部,以使该第一保护 层仅于该平坦部与该一个或全部的端子部的该顶 层顶面接触。 2.一种制造反射型液晶显示装置之方法,该装置包 括第一基板;第二基板;及夹置于该第一基板及第 二基板之间的显示媒体层, 其中: 该第一基板包括多个用以施加电压于该显示媒体 层之反射像素电极; 该第二基板包括与该多个反射像素电极位于相对 向位置之一对向电极; 该第一基板包括一绝缘板,亦包括:该绝缘板之一 表面上与该显示媒体层相对向之多个薄膜电晶体, 其分别连接于该多个反射像素电极;连接于各个薄 膜电晶体之多条闸极信号线及多条源极信号线;用 以提供扫描信号于该闸极信号线之闸极端子部;用 以提供显示信号于该源极信号线之源极端子部;及 用以提供共通信号于该对向电极之共通传输端子 部; 该薄膜电晶体分别包括连接于该各个闸极信号线 之闸极、连接于该各个源极信号线之源极、及连 接于该各个反射像素电极之汲极; 该闸极端子部、该源极端子部及该共通传输端子 部中之一者或全部包括由氧化铟锡形成之顶层,而 该顶层仅有顶面之平坦部露出; 该方法包括以下步骤: 于该绝缘板上形成第一导电层; 将该第一导电层形成图案,以形成该闸极信号线及 该闸极; 于该绝缘板上实质整体形成闸极绝缘层,以覆盖该 闸极信号线及该闸极; 于该绝缘板上形成氧化铟锡层; 将该氧化铟锡层形成图案,以于该一个或全部的端 子部上形成顶层; 形成第一保护层,以覆盖该形成图案之氧化铟锡层 ; 形成主要由铝构成之金属层,以覆盖该第一保护层 ;及 使该金属层不直接与氧化铟锡层接触而除去该金 属层及该第一保护层之一部份或全部,以形成由该 金属层所成之该反射像素电极,并且使一个或全部 的该端子部仅露出顶层顶面之平坦部, 其中于形成该第一保护层步骤之中,使一个或全部 的端子部仅露出该顶层顶面之该平坦部,使该第一 保护层仅于该平坦部与该一个或全部的端子部的 该顶层顶面接触。 3.一种制造反射型液晶显示装置之方法,该装置包 括第一基板;第二基板;及夹置于该第一基板及第 二基板之间的显示媒体层, 其中: 该第一基板包括多个用以施加电压于该显示媒体 层之反射像素电极; 该第二基板包括与该多个反射像素电极位于相对 向位置之一对向电极; 该第一基板包括一绝缘层,亦包括:该绝缘层之一 表面上与该显示媒体层相对向之多个薄膜电晶体, 其分别连接于该多个反射像素电极;连接于各个薄 膜电晶体之多条闸极信号线及多条源极信号线;用 以提供扫描信号于该闸极信号线之闸极端子部;用 以提供显示信号于该源极信号线之源极端子部;及 用以提供共通信号于该对向电极之共通传输端子 部; 该薄膜电晶体分别包括连接于该各个闸极信号线 之闸极、连接于该各个源极信号线之源极、及连 接于该各个反射像素电极之汲极; 该闸极端子部、该源极端子部及该共通传输端子 部中之一者或全部包括由氧化铟锡形成之顶层,而 该顶层仅有顶面之平坦部露出; 该方法包括以下步骤: 于该绝缘板上形成第一导电层; 将该第一导电层形成图案,以形成该闸极信号线及 该闸极; 于该绝缘板上实质整体形成闸极绝缘层,以覆盖该 闸极信号线及该闸极; 于一个或全部的该端子部中形成贯穿该闸极绝缘 层之开口; 于该绝缘板上形成氧化铟锡层; 将该氧化铟锡层形成图案,以于该一个或全部的该 端子部上形成该顶层; 形成第一保护层,以覆盖该形成图案之氧化铟锡层 ; 形成主要由铝构成之金属层,以覆盖该第一保护层 ;及 使该金属层不直接与氧化铟锡层接触而除去该金 属层及该第一保护层之一部分或全部,以形成由该 金属层所成之该反射像素电极,并且使一个或全部 的端子部仅露出该顶层顶面之该平坦部, 其中于形成第一保护层步骤之中,使一个或全部的 该端子部仅露出该顶层顶面之该平坦部,使该第一 保护层仅于该平坦部与该一个或全部的端子部的 该顶层顶面接触,而 将该氧化铟锡层形成图案步骤之中所形成之该一 个或全部的端子部的该顶层系于该开口中形成。 4.如申请专利范围第1项之方法,其中该一个或全部 的端子部的该顶层具有阶差边缘部分,而该方法另 外包括形成第二保护层之步骤,以覆盖该阶差边缘 部分,而于形成该第一保护层之步骤之前,仅露出 该顶层顶面之该平坦部。 5.如申请专利范围第3项之方法,其中该一个或全部 的端子部的该顶层具有阶差边缘部分,而该方法另 外包括形成第二保护层之步骤,以覆盖该阶差边缘 部分,而于形成该第一保护层之步骤之前,仅露出 该顶层顶面之该平坦部。 6.如申请专利范围第2项之方法,其中形成该一个或 全部的端子部的该顶层之步骤包括于该闸极绝缘 层上形成该顶层之步骤,而该顶层系由且位于该一 个或全部的该端子部以外之区域中的通孔而电连 接于该闸极信号线。 7.一种制造电路板之方法,该电路板包括形成于基 板上之绝缘板及端子部,该端子部包括由氧化铟锡 所形成之顶层,而该顶层仅露出顶面之平坦部;该 方法包括以下步骤: 于该绝缘板上形成氧化铟锡层; 将该氧化铟锡层形成图案,以于该端子部中形成顶 层; 形成第一保护层,以覆盖该形成图案之氧化铟锡层 ; 形成主要由铝所构成之金属层,以覆盖该第一保护 层;及 使该金属层不直接与氧化铟锡层接触而除去该金 属层及该第一保护层之一部分或全部,以使该端子 部仅露出该顶层顶面之平坦部, 其中于形成第一保护层步骤之中,该一个或全部的 该端子部仅露出该顶层顶面之该平坦部,使该第一 保护层仅于该平坦部与该一个或全部的端子部的 该顶层顶面接触。 8.一种反射型液晶显示装置,其包括: 第一基板; 第二基板;及 夹置于该第一基板及第二基板之间的显示媒体层, 其中: 该第一基板包括多个用以施加电压于该显示媒体 层之反射像素电极; 该第二基板包括与该多个反射像素电极位于相对 向位置之一对向电极; 该第一基板包括一绝缘板,亦包括:该绝缘板之一 表面上与该显示媒体层相对向之一氧化铟锡层;第 一保护层;多个薄膜电晶体,其系由主要含铝之金 属层形成而位于该第一保护层上,该薄膜电晶体连 接于该多个反射像素电极;连接于该薄膜电晶体之 闸极信号线及源极信号线;用以提供扫描信号于该 闸极信号线之闸极端子部;用以提供显示信号于该 源极信号线之源极端子部;及用以提供共通信号于 该对向电极之共通传输端子部; 该闸极端子部、该源极端子部及该共通传输端子 部中之一者或全部包括由氧化铟锡形成之顶层,而 该顶层仅有顶面之平坦部露出; 该第一基板另外包括闸极绝缘层,以覆盖该闸极信 号线及该闸极; 该闸极绝缘层于一个或全部的端子部中具有开口; 而该一个或全部的端子部之该顶层系位于该开口 中。 9.如申请专利范围第8项之反射型液晶显示装置,其 中该一个或全部的端子部的该顶层具有阶差边缘 部分,而该反射型液晶显示装置另外包括第二保护 层,以覆盖该阶差边缘部分,而仅露出该顶层顶面 之平坦部。 10.如申请专利范围第8项之反射型液晶显示装置, 其中该一个或全部的端子部的该顶层系形成于由 与该源极信号线相同之材料形成之另一导电层上 。 11.如申请专利范围第9项之反射型液晶显示装置, 其中该一个或全部的端子部的该顶层系形成于由 与该源极信号线相同之材料形成之导电层上。 12.如申请专利范围第8项之反射型液晶显示装置, 其中该一个或全部的端子部的该顶层系位于该闸 极绝缘层之内侧,使该顶层之外缘部分与该闸极绝 缘层内缘部分间之距离大于零而约2微米或较小。 13.一种反射型液晶显示装置,其包括: 第一基板; 第二基板;及 夹置于该第一基板及第二基板之间的显示媒体层, 其中: 该第一基板包括多个用以施加电压于该显示媒体 层之反射像素电极; 该第二基板包括与该多个反射像素电极位于相对 向位置之一对向电极; 该第一基板包括一绝缘板,亦包括:该绝缘板之表 面上与该显示媒体层相对向之氧化铟锡层;第一保 护层;多个薄膜电晶体,其系由主要含铝之金属层 形成而位于该第一保护层上,该薄膜电晶体连接于 该多个反射像素电极;连接于该薄膜电晶体之闸极 信号线及源极信号线;用以提供扫描信号于该闸极 信号线之闸极端子部;用以提供显示信号于该源极 信号线之源极端子部;及用以提供共通信号于该对 向电极之共通传输端子部; 该闸极端子部、该源极端子部及该共通传输端子 部中之一者或全部包括由氧化铟锡形成之顶层,而 该顶层仅有顶面之平坦部露出; 该第一基板另外包括闸极绝缘层,以覆盖该闸极信 号线及该闸极;及 该一个或全部之端子部的该顶层系位于该闸极绝 缘层上,而经由位于该一个或全部的端子部以外之 区域中之通孔电连接于该闸极信号线。 图式简单说明: 图1系为本发明反射型液晶显示装置之平面图; 图2A至2H系为说明图1所示之反射型液晶显示装置 之制法的剖面图; 图3A至3F系为说明制造本发明另一种反射型液晶显 示装置之方法的剖面图; 图4A及4B系为本发明第一个实施例中反射型液晶显 示装置之剖面图; 图5系为图4所示之反射型液晶显示装置之闸极端 子部的平面图; 图6系为图5所示之闸极端子部的剖面图; 图7A至7F系为说明用以制造第一个实施例所示之反 射型液晶显示装置之方法的剖面图; 图8系为具有本发明备择结构之端子部的剖面图; 图9系为本发明第二个实施例中反射型液晶显示装 置之剖面图; 图10系为图9所示之共通传输端子部之平面图; 图11系为图10所示之共通传输端子部之剖面图; 图12A至12F系为具有本发明备择结构之端子部的剖 面图; 图13A至13E系为具有本发明备择结构之端子部的剖 面图; 图14A至14C系为说明习用反射型液晶显示装置之制 造方法的剖面图; 图15A系为可应用本发明之反射型及透射型液晶显 示装置的剖面图;且 图15B系为图15A所示之反射型及透射型液晶显示装 置之平面图。
地址 日本