| 主权项 |
1.一种桥接仓储之选择方法,用以从复数桥接仓储 中选择一适合的桥接仓储,以在一第一晶圆厂及一 第二晶圆厂之间转运至少一晶圆传送盒,包含: 依据上述第一及第二晶圆厂之复数设备的布局方 式,将上述复数设备分类为复数群组; 根据上述复数群组指定二群组间一跨厂传输路线 对应的一桥接仓储群组,其中上述跨厂传输路线之 起点及终点分别为一第一群组及一第二群组,其中 上述第一群组位于上述第一及第二晶圆厂之其中 一者内,上述第二群组位于上述第一及第二晶圆厂 之其中另一者内; 储存上述桥接仓储群组之预定资讯; 当接收到对应上述跨厂传输路线之一跨厂传输命 令时,其中上述跨厂传输命令的起点设备及终点设 备分别属于上述第一群组及上述第二群组,取得上 述跨厂传输路线对应的上述桥接仓储群组之即时 资讯,包含上述桥接仓储群组中每一桥接仓储之待 处理命令数量及储位使用量;以及 根据上述待处理命令数量、储位使用量及上述预 定资讯之中至少二项资讯以选择上述桥接仓储群 组之其中一者作为上述适合的桥接仓储,以转运上 述跨厂传输命令指定之该晶圆传送盒。 2.如申请专利范围第1项所述的桥接仓储之选择方 法,其中,上述桥接仓储群组之上述预定资讯包含 上述桥接仓储群组之每一桥接仓储对应上述跨厂 传输路线之优先权。 3.如申请专利范围第2项所述的桥接仓储之选择方 法,其中,上述桥接仓储群组之每一桥接仓储之优 先权系根据该桥接仓储与上述第一群组之距离而 决定。 4.如申请专利范围第2项所述的桥接仓储之选择方 法,其中,上述桥接仓储群组之上述预定资讯包含 上述桥接仓储群组之每一桥接仓储的复数加权値, 包含上述优先权之一第一加权値、上述待处理命 令数量之一第二加权値以及上述储位使用量之一 第三加权値。 5.如申请专利范围第4项所述的桥接仓储之选择方 法,更包含: 计算上述桥接仓储群组之每一桥接仓储的关键値, 其中,上述桥接仓储群组之一第i个桥接仓储之优 先权为P(i),待处理命令数量为C(i),储位使用量为S(i ),第一加权値为w1(i),第二加权値为w2(i),第三加权 値为w3(i),其中i为正整数,则上述第i个桥接仓储之 关键値R(i)为: R(i)=P(i)w1(i)+C(i)w2(i)+S(i)w3(i);以及 选择上述桥接仓储群组中关键値最小之桥接仓储 作为上述适合的桥接仓储。 6.一种桥接仓储之选择系统,包含: 复数桥接仓储,用以在一第一晶圆厂及一第二晶圆 厂之间转运至少一晶圆传送盒,其中上述第一及第 二晶圆厂之复数设备依照布局方式被分类为复数 群组,上述复数群组之二群组间一跨厂传输路线被 指定一对应桥接仓储群组,其中上述跨厂传输路线 之起点及终点分别为一第一群组及一第二群组,其 中上述第一群组位于上述第一及第二晶圆厂之其 中一者内,上述第二群组位于上述第一及第二晶圆 厂之其中另一者内;以及 一控制系统,用以从上述复数桥接仓储中选择一适 合的桥接仓储,预先储存上述桥接仓储群组之预定 资讯,当接收到对应上述跨厂传输路线之一跨厂传 输命令时,其中上述跨厂传输命令的起点设备及终 点设备分别属于上述第一群组及上述第二群组,取 得上述跨厂传输路线对应的上述桥接仓储群组之 即时资讯,包含上述桥接仓储群组中每一桥接仓储 之待处理命令数量及储位使用量,以及根据上述待 处理命令数量、储位使用量及上述预定资讯之中 至少二项资讯以选择上述桥接仓储群组之其中一 者作为上述适合的桥接仓储,以转运上述跨厂传输 命令指定之该晶圆传送盒。 7.如申请专利范围第6项所述的桥接仓储之选择系 统,其中,上述桥接仓储群组之上述预定资讯包含 上述桥接仓储群组之每一桥接仓储对应上述跨厂 传输路线之优先权。 8.如申请专利范围第7项所述的桥接仓储之选择系 统,其中,上述桥接仓储群组之每一桥接仓储之优 先权系根据该桥接仓储与上述第一群组之距离而 决定。 9.如申请专利范围第7项所述的桥接仓储之选择系 统,其中,上述桥接仓储群组之上述预定资讯包含 上述桥接仓储群组之每一桥接仓储的复数加权値, 包含上述优先权之一第一加权値、上述待处理命 令数量之一第二加权値以及上述储位使用量之一 第三加权値。 10.如申请专利范围第9项所述的桥接仓储之选择系 统,其中上述控制系统计算上述桥接仓储群组之每 一桥接仓储的关键値,其中,上述桥接仓储群组之 一第i个桥接仓储之优先权为P(i),待处理命令数量 为C(i),储位使用量为S(i),第一加权値为w1(i),第二加 权値为w2(i),第三加权値为w3(i),其中i为正整数,则 上述第i个桥接仓储之关键値R(i)为: R(i)=P(i)w1(i)+C(i)w2(i)+S(i)w3(i);以及 上述控制系统选择上述桥接仓储群组中关键値最 小之桥接仓储作为上述适合的桥接仓储。 11.如申请专利范围第6项所述的桥接仓储之选择系 统,其中,上述控制系统为上述第一晶圆厂或上述 第二晶圆厂之其中一者的物料控制系统。 12.一种桥接仓储之选择方法,用以从复数桥接仓储 中选择一适合的桥接仓储,以在一第一晶圆厂及一 第二晶圆厂之间转运至少一晶圆传送盒,包含: 依据上述第一及第二晶圆厂之复数设备的布局方 式,将上述复数设备分类为复数群组; 根据上述复数群组指定二群组间一跨厂传输路线 对应的一桥接仓储群组,其中上述跨厂传输路线之 起点及终点分别为一第一群组及一第二群组,其中 上述第一群组位于上述第一及第二晶圆厂之其中 一者内,上述第二群组位于上述第一及第二晶圆厂 之其中另一者内; 储存上述桥接仓储群组之预定资讯,包含上述桥接 仓储群组之每一桥接仓储对应上述跨厂传输路线 之优先权以及每一桥接仓储的复数加权値; 当接收到对应上述跨厂传输路线之一跨厂传输命 令时,其中上述跨厂传输命令的起点设备及终点设 备分别属于上述第一群组及上述第二群组,取得上 述跨厂传输路线对应的上述桥接仓储群组之即时 资讯,包含上述桥接仓储群组中每一桥接仓储之待 处理命令数量及储位使用量;以及 计算上述桥接仓储群组之每一桥接仓储的关键値, 其中,上述桥接仓储群组之一第i个桥接仓储之优 先权为P(i),待处理命令数量为C(i),储位使用量为S(i ),复数加权値w1(i)w2(i)w3(i),其中i为正整数,则上述 第i个桥接仓储之关键値R(i)为: R(i)=P(i)w1(i)+C(i)w2(i)+S(i)w3(i);以及 选择上述桥接仓储群组中关键値最小之桥接仓储 作为上述适合的桥接仓储,以转运上述跨厂传输命 令指定之该晶圆传送盒。 13.如申请专利范围第12项所述的桥接仓储之选择 方法,其中,上述桥接仓储群组之每一桥接仓储之 优先权系根据该桥接仓储与上述第一群组之距离 而决定。 14.一种桥接仓储之选择系统,包含: 复数桥接仓储,用以在一第一晶圆厂及一第二晶圆 厂之间转运至少一晶圆传送盒,其中上述第一及第 二晶圆厂之复数设备依照布局方式被分类为复数 群组,上述复数群组之二群组间一跨厂传输路线被 指定一对应桥接仓储群组,其中上述跨厂传输路线 之起点及终点分别为一第一群组及一第二群组,其 中上述第一群组位于上述第一及第二晶圆厂之其 中一者内,上述第二群组位于上述第一及第二晶圆 厂之其中另一者内;以及 一控制系统,用以从上述复数桥接仓储中选择一适 合的桥接仓储,上述控制系统预先储存上述桥接仓 储群组之预定资讯,包含上述桥接仓储群组之每一 桥接仓储对应上述跨厂传输路线之优先权以及每 一桥接仓储的复数加权値,当接收到对应上述跨厂 传输路线之一跨厂传输命令时,其中上述跨厂传输 命令的起点设备及终点设备分别属于上述第一群 组及上述第二群组,取得上述跨厂传输路线对应的 上述桥接仓储群组之即时资讯,包含上述桥接仓储 群组中每一桥接仓储之待处理命令数量及储位使 用量,以及计算上述桥接仓储群组之每一桥接仓储 的关键値,其中,上述桥接仓储群组之一第i个桥接 仓储之优先权为P(i),待处理命令数量为C(i),储位使 用量为S(i),复数加权値w1(i)w2(i)w3(i),其中i为正整数 ,则上述第i个桥接仓储之关键値R(i)为: R(i)=P(i)w1(i)+C(i)w2(i)+S(i)w3(i);以及 其中上述控制系统选择上述桥接仓储群组中关键 値最小之桥接仓储作为上述适合的桥接仓储,以转 运上述跨厂传输命令指定之该晶圆传送盒。 15.如申请专利范围第14项所述的桥接仓储之选择 系统,其中,上述桥接仓储群组之每一桥接仓储之 优先权系根据该桥接仓储与上述第一群组之距离 而决定。 16.如申请专利范围第14项所述的桥接仓储之选择 系统,其中,上述控制系统为上述第一晶圆厂或上 述第二晶圆厂之其中一者的物料控制系统。 图式简单说明: 第1图显示具有跨厂传输能力之二座晶圆厂之示意 图; 第2图显示上述二座晶圆厂及复数桥接仓储之示意 图; 第3图显示选择桥接仓储之前置处理之流程图; 第4图显示上述二座晶圆厂中复数设施群组之示意 图;以及 第5图显示桥接仓储之选择方法之实施例的流程图 。 |
