| 主权项 |
1.一种无尘室用的自动仓库,是在台架的背面设置 导管,从洁净空气的供给源,经由导管,将洁净空气 供给到上述台架内的无尘室用的自动仓库,其特征 为: 在上述洁净空气的每个供给源,设置有复数的洁净 空气的吹出口。 2.如申请专利范围第1项的无尘室用的自动仓库,其 中设置复数的过滤器风扇单元作为上述洁净空气 的供给源,且在过滤器风扇单元之间,空置出一个 过滤器风扇单元内的吹出口以上的间隔来进行配 置。 3.如申请专利范围第2项的无尘室用的自动仓库,其 中将上述洁净空气的供给源配置在自动仓库的支 柱与支柱之间,且将上述吹出口设置在上述支柱附 近。 图式简单说明: 第1图是实施例的无尘室用的自动仓库的在FFU的正 上部的水平方向剖面图。 第2图是显示实施例的无尘室用的自动仓库的铅直 方向剖面图。 第3图是实施例的特性图,是针对吹出口的附近高 度、自动仓库的上部的位置的两个高度,来显示支 柱间的位置与洁净空气的流速与静压力的关系。 第4图是每隔一排空出间隔配置FFU的变形例的无尘 室用的自动仓库的在FFU正上部的主要部分水平方 向剖面图。 第5图是在FFU的吹出口的上部设置扰流板的变形例 的无尘室用的自动仓库的在FFU正上部的主要部分 水平方向剖面图。 第6图是显示第5图的变形例的在吹出口的上部的 洁净空气的流速与静压力的分布的特性图。 第7图是显示习知例的从导管朝向台架的吹出口的 洁净空气的流速分布的特性图。 第8图是显示习知例中的导管内的靠近台架部分的 朝向上方的洁净空气的流速分布的特性图。 |
