发明名称 光照射装置
摘要 本发明揭示一种光照射装置,其主要课题是即使使用照射区域狭小的积光镜(integrator lens),光源像也不会超越到相邻的透镜,以避免光照射面上之曝光精度恶化。本发明之光照射装置是将光源1射出的光,经由积光镜4照射在光照射面8。在光源1附近设有用来遮住来自光源1的光,使射入积光镜4的光的聚光角变小的遮光手段2。使光入射侧透镜群4a藉由透镜移动机构4d朝光轴方向移动,要加长积光镜4之光入射侧透镜群4a与光出射侧透镜群4b间的距离,使上述照射区域变小时是将上述遮光手段2插入光路内。而要缩短上述距离,使上述照射区域变大时是使上述遮光手段2从光路内退开。此外,亦可将遮光手段设在沿着积光镜4之光出射侧透镜群的交界面之间。
申请公布号 TWI276926 申请公布日期 2007.03.21
申请号 TW093136167 申请日期 2004.11.24
申请人 牛尾电机股份有限公司 发明人 大泽理
分类号 G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 G03F7/20(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.一种光照射装置,是将从光源射出的光,经由使光 入射侧透镜群及光出射侧透镜群朝光轴方向分开 而配置的积光镜照射在被照射物者,其特征为具有 : 使上述积光镜的光入射侧透镜群朝光轴方向移动, 使光所照射之照射区域的大小改变的透镜移动手 段; 可插入上述光源与积光镜间的光路内,并遮住来自 上述光源的光,使射入积光镜之光入射侧透镜群的 光的聚光角缩小的遮光手段;以及 驱动上述透镜移动手段,要加长积光镜之光入射侧 透镜群与光出射侧透镜群间的距离,使上述照射区 域变小时是将上述遮光手段插入上述光源与积光 镜间的光路内, 要缩短上述积光镜之光入射侧透镜群与光出射侧 透镜群间的距离,使上述照射区域变大时是使上述 遮光手段从上述光源与积光镜间的光路内退开的 手段。 2.一种光照射装置,是将从光源射出的光,经由使光 入射侧透镜群及光出射侧透镜群朝光轴方向分开 而配置的积光镜照射在被照射物者,其特征为具有 : 光所照射的照射区域之大小各不相同的复数个积 光镜; 将上述复数个积光镜选择性插入上述光照射装置 的光路中的积光镜更换手段; 可插入上述光源与积光镜间的光路内,并遮住来自 光源的光,使射入上述积光镜之光入射侧透镜群的 光的聚光角改变的遮光手段;以及 要将照射区域狭小的积光镜插入上述光路中时是 将上述遮光手段插入上述光源与积光镜间的光路 内,要将照射区域广大的积光镜插入上述光路中时 是使上述遮光手段从上述光源与积光镜间的光路 内退开的手段。 3.一种光照射装置,是将从光源射出的光,经由使光 入射侧透镜群及光出射侧透镜群朝光轴方向分开 而配置的积光镜照射在被照射物者,其特征为设有 : 光所照射的照射区域之大小各不相同的两个积光 镜; 将上述两个积光镜选择性插入上述光照射装置的 光路中的积光镜更换手段;以及 在上述两个积光镜当中照射区域狭小的积光镜之 入射侧透镜群与光出射侧透镜群之间,设有沿着光 出射侧透镜之交界面的遮光构件。 图式简单说明: 第1图是本发明第1实施例之光照射装置的概略构 成图。 第2图是设在光源附近的遮光板的说明图。 第3图是本发明第1实施例之动作的说明图。 第4图是本发明第1实施例之变形例的图。 第5图是设在积光镜之光出射侧透镜群的遮光板的 说明图。 第6图是本发明第1实施例之变形例的动作的说明 图。 第7图是本发明第2实施例之光照射装置的概略构 成图。 第8图是本发明第2实施例之动作的说明图。 第9图是本发明第3实施例之光照射装置的概略构 成图。 第10图是本发明第3实施例之动作的说明图。 第11图是在第1图之实施例当中,将遮光板设在光出 射侧透镜时的构成例的图。 第12图是第11图之动作的说明图。 第13图是积光镜之作用的说明图。 第14图是积光镜之光入射侧透镜与光出射侧透镜 的距离与入射角1、出射角2的关系的说明图 。
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