| 发明名称 | 形成薄膜的方法以及制造器件的方法 | ||
| 摘要 | 液体材料以液滴形式被放置在衬底上以在衬底上形成薄膜。液体材料中固体的浓度和液滴的干燥速度中至少一个被用作控制液滴的干薄膜形状的参数。此外，第一液滴被放置在衬底上，第一液滴被干燥以形成其形状为边部厚度大于中心部分厚度的干薄膜，第二液滴被放置在被第一液滴的干薄膜边缘部分环绕的区域中，以形成第二液滴的干薄膜。此外，液体材料以液滴形式被放置在衬底上以在衬底上形成薄膜，液滴的干薄膜通过收缩液滴而形成。 | ||
| 申请公布号 | CN1933101A | 申请公布日期 | 2007.03.21 |
| 申请号 | CN200610132143.3 | 申请日期 | 2004.07.07 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 增田贵史 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01L21/208(2006.01);H01L21/288(2006.01);H01L21/3205(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01L51/00(2006.01);G03F7/16(2006.01);H05K3/10(2006.01);B05D3/02(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 宋合成 |
| 主权项 | 1.一种形成薄膜的方法，包括步骤：在衬底上放置第一液滴；干燥所述第一液滴以形成其形状为边部厚度大于中心厚度的干薄膜，以及在被所述第一液滴的干薄膜的边缘部分环绕的区域中放置第二液滴、以形成所述第二液滴的干薄膜。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||