单晶硅棒切方滚磨机床

摘要

本实用新型提供一种集切方加工－滚磨外圆加工－磨方加工三种加工方式于一体的单晶硅棒切方滚磨机床，该机床的床头装置包括：驱动部；电磁离合器；以及传动部。所述传动部分别与所述驱动部和所述床头装置的主轴连接，并将所述驱动部的驱动力传递给所述床头装置的主轴。通过对床头装置的结构进行改进，可以消除床头箱主轴的装配间隙，增加单晶硅棒的定位刚性，从而可以使用滚磨装置对单晶硅棒进行磨方加工，以提高使单晶硅棒的尺寸精度和表面光洁度。由此，可以有效防止在切薄片时由于尺寸精度和表面光洁度不高而引起的崩边现象，使产品的成品率和生产效率提高，增加了经济效益。

主权项

1.一种单晶硅棒切方滚磨机床，包括床头装置，其特征在于，所述床头装置包括：主轴；驱动部；电磁离合器；以及传动部，所述传动部分别与所述驱动部和所述床头装置的主轴连接，所述驱动部的驱动力通过所述传动部传递给所述床头装置的主轴并驱动所述主轴旋转，所述电磁离合器包括动环部和静环部，所述动环部与所述床头装置的主轴以键连接方式紧密配合，所述静环部固定在所述床头装置上。