防止溅镀过程中被溅镀物品变形的防护装置

摘要

一种防止溅镀过程中被溅镀物品变形的防护装置，该防护装置为一块或者相应多块金属板，该金属板的整体形状为可遮覆被溅镀物品对应易变形区域，该金属板上阵列式分布有大小相等的穿透板面的圆孔，该圆孔大小可有效屏蔽和反射二次电子且不影响靶材原子的透过，该金属板有一无上述圆孔的侧缘，该金属板通过该侧缘安装于溅镀治具的侧缘，遮覆被溅镀物品大面积易变形区域。溅镀过程中，靶材原子接触被溅镀物品的表面后便形成一镀膜层；大量二次电子被防护装置所屏蔽和反射，少量二次电子到达被溅镀物品的易变形区域。从而减少了二次电子对易变形区域的热效应，防止被溅镀物品的变形。

主权项

1.一种防止溅镀过程中被溅镀物品变形的防护装置，其特征在于，该防护装置为一块金属板，该金属板的整体形状与被溅镀物品易变形区域形状对应，该金属板上阵列式分布有大小相等的穿透板面的圆孔，该金属板有侧缘。