高耐水特性的高分子电阻型薄膜湿敏元件及其制作方法

摘要

本发明公开了一种高耐水特性的高分子电阻型薄膜湿敏元件及其制作方法。该湿敏材料由γ－氨丙基三乙氧基硅烷与溴代正丁烷两种原料，通过简便的方法制备。两者的摩尔比为1∶0.5～2。该湿敏元件的特征是在具有8～16对叉指金电极的微晶玻璃片表面，涂覆有感湿膜。感湿膜为上述二种原料经季胺化和水解及加热交联自聚形成的含硅阳离子电解质自聚物。该湿敏元件的制备方法是采用浸涂工艺及加热后处理的方法，先制得涂覆有感湿膜的微晶玻璃叉指金电极，然后进行老化处理制得。本发明制备方法简单，成本低，尤其适用于批量生产。所制备的湿敏元件具有宽湿度量程，灵敏度高，响应线性度好，尤其有高耐水特性，可广泛应用于过程及环境湿度的精确测量与控制。

主权项

1.一种高耐水含硅阳离子电解质自聚物电阻型薄膜湿敏元件，其特征在于：它具有微晶玻璃片基体(1)，在微晶玻璃片基体表面上蒸发、光刻有多对叉指金电极(2)，在叉指金电极上连接有引线(4)，在微晶玻璃片基体和叉指金电极表面上涂覆有感湿膜(3)，感湿膜(3)为含硅阳离子电解质自聚物。