| 发明名称 | 永久抗蚀剂组合物、其固化产物及其用途 | ||
| 摘要 | 一种永久的光致抗蚀剂组合物，其包括：(A)根据式I的一种或更多种双酚A－酚醛环氧树脂；其中：在式I中的每一基团R独立地选自缩水甘油基或氢，和在式I中的k是范围为0－约30的实数；(B)选自式BIIa和BIIb表示的基团中的一种或更多种环氧树脂；其中在式BIIa中的每一R<SUB>1</SUB>、R<SUB>2</SUB>和R<SUB>3</SUB>独立地选自氢或具有1－4个碳原子的烷基，和在BIIa中的数值p是范围为1－30的实数；在BIIb中的数值n和m独立地为范围是1－30的实数，以及在BIIb中的每一R<SUB>4</SUB>和R<SUB>5</SUB>独立地选自氢、具有1－4个碳原子的烷基或三氟甲基；(C)一种或更多种阳离子光引发剂(也称为光酸生成剂或PAG)；和(D)一种或更多种溶剂。 | ||
| 申请公布号 | CN1934498A | 申请公布日期 | 2007.03.21 |
| 申请号 | CN200580008836.5 | 申请日期 | 2005.02.10 |
| 申请人 | 微量化学公司;日本化药株式会社 | 发明人 | W·韦伯;森哲;本田那央;D·约翰逊;M·多坎托 |
| 分类号 | G03F7/038(2006.01) | 主分类号 | G03F7/038(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 陈季壮 |
| 主权项 | 1.永久光致抗蚀剂组合物，其包括：(A)根据式I的一种或更多种双酚A-酚醛环氧树脂；其中：<img file="A2005800088360002C1.GIF" wi="1225" he="501" />其中在式I中的每一基团R独立地选自缩水甘油基或氢，和在式I中的k是范围为0-约30的实数；(B)选自式BIIa和BIIb表示的组中的一种或更多种环氧树脂；<img file="A2005800088360002C2.GIF" wi="1941" he="753" />其中在式BIIa中的每一R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>和R<sub>3</sub>独立地选自氢或具有1-4个碳原子的烷基，和在BIIa中的数值p是范围为1-30的实数；在BIIb中的数值n和m独立地为范围是1-30的实数，以及在BIIb中的每一R<sub>4</sub>和R<sub>5</sub>独立地选自氢、具有1-4个碳原子的烷基或三氟甲基；(C)一种或更多种阳离子光引发剂(也称为光酸生成剂或PAG)；和(D)一种或更多种溶剂。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞 | ||