利用侧面安装的干涉仪获取位置信息的系统和方法

摘要

本发明公开了用于获取可移动装置相对于特定轴的位置信息的系统和方法。在一个实施例中，干涉仪产生第一光束和第二光束，并且放置各种光束指引部件以定义这两条光束的光束路径片断，但是光束路径片断的长度并没有随可移动装置沿特定轴的位移而一致性地变化。在另一实施例或同一实施例中，第一光束的或射到可移动装置或已从可移动装置反射回的每个光束路径片断对称于第二光束的相应光束路径片断。可移动装置可以是晶片台，其中“特定轴”是投影透镜的曝光轴，但是所有与台协同工作的光学部件都位于晶片台在垂直于光刻曝光轴的方向上的范围之外。

主权项

1.一种用于获取相对于特定轴的位置信息的系统，包括：可移动装置，其在与所述特定轴平行线相关的一侧面具有第一反射面和第二反射面，所述第一反射面与所述第二反射面成某一角度，并且所述第一反射面和第二反射面都不平行于所述特定轴；干涉仪，其被定位以引导第一光束射到所述第一反射面以及引导第二光束射到所述第二反射面，所述干涉仪包括与检测器对准的光束组合器；和光束指引部件，其相对于所述干涉仪以及所述第一反射面和第二反射面被定位，以控制所述第一光束和第二光束到达所述光束组合器，而没有其长度变化与所述可移动装置沿所述特定轴的位移相一致的光束路径片断。