减压处理室内的部件清洁方法和基板处理装置

摘要

为了使附着在减压处理室内的部件上的微颗粒飞散，清洁部件，采用将电压加在部件上，利用麦克斯韦应力使微颗粒飞散的方法；使微颗粒带电，利用库仑力飞散的方法，将气体导入减压处理室中，使气体冲击波到达附着有微颗粒的部件，使微颗粒飞散的方法；使部件温度上升，利用热应力和热泳动力，使微颗粒飞散的方法；或将机械振动给与部件，使微颗粒飞散的方法。另外，使飞散的微颗粒在较高压的气氛下被气体流夹带除去。

主权项

1.一种部件清洁方法，使附着在减压处理室的部件上的微颗粒飞散，其特征为，使所述减压处理室保持规定的压力，导入气体，使气体冲击波到达所述减压处理室内的部件，使附着在所述部件上的微颗粒飞散。