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发明名称 Integrated driver electronics for MEMS device using high voltage thin film transistors
摘要
申请公布号 EP1574475(A3) 申请公布日期 2007.03.21
申请号 EP20050251214 申请日期 2005.03.01
申请人 PALO ALTO RESEARCH CENTER INCORPORATED 发明人 LU, JENG PING;CHOW, EUGENE, M.;HO, JACKSON, H.;SHIH, CHINWEN
分类号 B81B7/02;B81B3/00;H01L27/12;H01L29/786 主分类号 B81B7/02
代理机构 代理人
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