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发明名称
APPARATUS AND METHOD FOR MEASUREMENT OF FIELDS OF BACKSCATTERED AND FORWARD SCATTERED/REFLECTED BEAMS BY AN OBJECT IN INTERFEROMETRY
摘要
申请公布号
EP1608933(A4)
申请公布日期
2007.03.21
申请号
EP20040758700
申请日期
2004.04.01
申请人
ZETETIC INSTITUTE
发明人
HILL, HENRY ALLEN
分类号
G01B9/02;G01J1/58;G01N21/21;G02B17/08;G02B21/00;G03F7/20
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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