发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR MEASUREMENT OF FIELDS OF BACKSCATTERED AND FORWARD SCATTERED/REFLECTED BEAMS BY AN OBJECT IN INTERFEROMETRY
摘要
申请公布号 EP1608933(A4) 申请公布日期 2007.03.21
申请号 EP20040758700 申请日期 2004.04.01
申请人 ZETETIC INSTITUTE 发明人 HILL, HENRY ALLEN
分类号 G01B9/02;G01J1/58;G01N21/21;G02B17/08;G02B21/00;G03F7/20 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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