用于具有主动柔顺性的测试头的操纵器

摘要

一种支承像电子测试头那样的负载的设备。力传感器检测从负载接收的力，该力来源于所述负载不平衡而绕所述负载的转轴产生转矩。力源响应力传感器检测的力，提供相对于负载的反力。还提供了一种把固定在测试头操纵器中的电子测试头与电子器件处理器对接的方法。该对接方法包括测量沿着或绕测试头操纵器的多根运动轴的至少一根的不平衡力的大小，以及为不平衡力提供反力。

主权项

1.一种用于支承负载的设备，包括：力传感器，用于检测从所述负载接收的力，所述力来源于处在不平衡状态、使得绕着所述负载的转轴产生转矩的所述负载；力源，用于响应所述力传感器检测的所述力，提供相对于所述负载并在与所述力相反的方向上的反力。