光波干涉装置

摘要

本发明提供一种光波干涉装置，其具有被检测透镜的定位装置，其中，可自动调节被检测透镜的光轴和基准球面反射镜的光轴的平行偏移，可将被检测透镜的光波干涉测定自动化。观察基于来自被检测透镜(1)的表面的所述测定用光束的反射光的亮点，运算观察画面上的该亮点的像位置，同时运算使测定的该亮点的像移动到观察画面上的规定的基准位置所需要的基准球面反射镜(7)的移动量，基于该运算的移动量进行基准球面反射镜(7)的驱动控制，在光波干涉测定观察画面上自动调节被检测透镜(1)的光轴和基准球面反射镜(7)的光轴的平行偏移。

主权项

1.一种光波干涉装置，其将来自光源的测定用光束分割为两类，使一方透射被检测透镜后，由基准球面反射，再透射该被检测透镜而形成为被检测光，使另一方在基准面形成为基准光，观察由该被检测光和该基准光的干涉产生的干涉条纹，基于该观察结果测定该被检测透镜的波面，其特征在于，具备：调节与该被检测透镜的光轴的设置关系的被检测体定位装置，该被检测体定位装置具备：被检测体支撑装置，其支撑该被检测透镜，使该被检测透镜与来自光源的测定用光束对面，且使该测定用光束透射；将透射了该被检测体的所述测定用光束反射的具有所述基准球面的基准球面反射装置；能够将该基准球面反射装置在与其光轴方向正交的平面内的相互正交的2轴方向上移动调节的移动调节装置；观察基于来自所述被检测透镜的表面的所述测定用光束的反射光的强度分布的光标，运算观察画面上的该光标的像位置的光标像位置测定运算装置；运算使由该光标像位置测定运算装置测定的该光标像移动到该观察画面上的规定的基准位置所需要的所述基准球面反射装置的移动量的基准球面移动量运算装置；基于由该基准球面移动量运算装置运算的移动量，进行所述移动调节装置的驱动控制的驱动控制装置。