发明名称 UNIT OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS CAPABLE OF LESSENING LOSS TIME IN MAINTENANCE
摘要
申请公布号 KR100697273(B1) 申请公布日期 2007.03.21
申请号 KR20040075607 申请日期 2004.09.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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