发明名称 用以检查内连线的测试键及检查内连线的方法
摘要 一种用以检查内连线的测试键,包括一连续金属线及其上的多个导电插塞。其中,每一导电插塞的一端与连续金属线接触,且至少有一导电插塞的另一端不与任何导体连接。另外,连续金属线的两端连接至不同的电压。本发明还涉及检查内连线的方法。
申请公布号 CN1933144A 申请公布日期 2007.03.21
申请号 CN200510099538.3 申请日期 2005.09.13
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 郑彦升;王学文;廖书筠;简志颖;吕欣育;郑瑞煌
分类号 H01L23/544(2006.01);H01L21/66(2006.01) 主分类号 H01L23/544(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1、一种用以检查内连线的测试键,包括:一连续金属线;以及多个导电插塞,位于该连续金属线上,其中每一导电插塞的一端与该连续金属线接触,且其中至少有一导电插塞的另一端不与任何导体连接;其中,该连续金属线的两端连接至不同的电压。
地址 台湾省新竹科学工业园区