正性敏射线的树脂组合物

摘要

一种正性敏射线树脂组合物，它在制备半导体等的生产中具有良好的生产率，而且对尺寸精确性的依赖较小。它具有高的敏感性和高的分辨性，而且能形成具有高的图形宽高比和形状好的图形。该正性敏射线树脂组合物包含有(i)一种敏射线酚醛清漆树脂，它包含一个通过分馏处理已除去低分子量组份的碱溶性酚醛清漆树脂与邻萘醌二叠氮化物的反应产物或一个通过分馏处理从碱溶性酚醛清漆树脂与邻萘醌二叠氮化物的反应产物中除去其低分子量组份的产物，和(ii)一种具有下列通式(Ⅰ)和具有酚型羟基的低分子化合物：∴式中的R₁，R₂，R₃，R₄，R₅，R₆与R₇各自独立地表示H，一个C₁-C₄烷基，一个C₁-C₄烷氧基，环己基或具有下列通式的基团：∴式中的R₈表示H，一个C₁-C₄烷基，C₁-C₄烷氧基或环己基；m和n各自为0，1或2；a，b，c，d，e，f，g和h各自为0或一个1-5的整数，其中a+b≤5，c+d≤5，e+f≤5，g+h≤5；而i是0，1或2。

主权项

1.一种正性敏射线树脂组合物，其中含有：(i)一种敏射线酚醛清漆树脂，它包含通过分馏处理已除去部分低分子量组分的碱溶性酚醛清漆树脂与邻萘醌二叠氮化物的反应产物，其中被除去的低分子量组分包括二聚物、三聚物和四聚物，或包含通过分馏处理从碱溶性酚醛清漆树脂与邻萘醌二叠氮化物的反应产物中除去部分低分子量组分的产物，其中被除去的低分子量组分包括二聚物、三聚物和四聚物，和(ii)一种选自如下的低分子化合物：4，4′，4″-次甲基三酚、2，6-双[(2-羟基-5-甲基酚)甲基]-4-甲基酚、4，4′-[1-[4-[1-(4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]二酚、4，4′，4″-亚乙基三酚、4-[双(4-羟苯基)甲基]-2-乙氧基酚、4，4′-[(2-羟苯基)亚甲基]双[2，3-二甲基酚]、4，4′-[(3-羟苯基)亚甲基]双[2，6-二甲基酚]、4，4′-[(4-羟苯基)亚甲基]双[2，6-二甲基酚]、2，2′-[(2-羟苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基酚]、2，2′-[(4-羟苯基)亚甲基]双[3，5-二甲基酚]、4，4′-[(3、4-二羟苯基)亚甲基]双[2，3，6-三甲基酚]、4-[双(3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基)甲基]-1、2-苯二酚、4，6-双[(3，5-二甲基-4-羟苯基)甲基]1，2，3-苯三酚、4，4′-[(2-羟苯基)亚甲基]双[3-甲基酚]、4，4′，4″-(3-甲基-1-亚丙基-3)三酚、4，4′，4″，4-(1，4-亚苯基二亚甲基)四酚、2，4，6-三[(3，5-二甲基-4-羟苯基)甲基]-1，3-苯二酚、2，4，6-三[(3，5-二甲基-2-羟苯基)甲基]-1，3-苯二酚、以及4，4′-[1-[4-[1-[4-羟基-3，5-双[(羟基-3-甲苯基)甲基]苯基]-1-甲乙基]苯基]亚乙基]双[2，6-双(羟基-3-甲苯基)甲基]酚；其中所述分馏处理包括通过沉淀除去部分所述二聚物、三聚物和四聚物。