微型谐振器和制造这种微型谐振器的方法

摘要

本发明公开了一种微型谐振器，该微型谐振器可以成功地减小输入和输出电极之间的寄生电容，并具有这样构成的振荡器，使得在高频工作条件下能确保很高的信噪比。该微型谐振器包括形成在衬底上的绝缘层；形成在绝缘层上用于信号输入的第一电极；形成在绝缘层上用于信号输出的第二电极；以及在第一电极和第二电极的上方、横跨并与第一电极和第二电极隔开一气隙的振荡器电极，其中绝缘层至少在第一电极和第二电极之间具有形成在其内的凹槽。

主权项

1.一种微型谐振器，包括：一绝缘层，形成在一衬底上；一第一电极，形成在所述绝缘层上用于信号输入；一第二电极，形成在所述绝缘层上用于信号输出；和一振荡器电极，形成在所述第一电极和所述第二电极的上方，横跨所述第一电极和第二电极，并与所述第一电极和所述第二电极隔开一气隙，其中，所述绝缘层至少在所述第一电极和所述第二电极之间具有形成在其内的一凹槽。