根据共焦显微术的基本原理的高速测量设备和方法

摘要

本发明涉及根据共焦显微术的基本原理的测量设备和方法，包括光源(1)、用于限制光束的光阑装置(3)、用于将由光源辐射的并且穿过光阑装置的光(5)聚焦到要测量的物体(6)上的投影光学装置(4)。此外还包括用于在物体上被反向散射并且穿过相同的投影光学装置或者被布置在观测路径(7)中的其他光阑装置的光(5)的接收光学装置(10)以及具有至少两个对辐射敏感的传感器元件(13，14)(像素)的图像接收器(10)。为了产生包含高度信息的测量照片，在光源(1)和/或图像接收器(10)与物体(6)之间的光路中布置有用于改变光学路径长度的装置(11)，其中可以以预先给定的方式改变焦点的光学距离(d)。可以如此影响在曝光时间间隔(T)期间至少两个传感器元件(13，14)中的电荷(Q₁₃，Q₁₄)的累积对观测光路(7)的光强的依赖性，以致可以根据在曝光时间间隔期间从至少两个传感器元件所获得的强度值的分布来重构物体的高度坐标(z_s)。

主权项

1.根据共焦显微术的基本原理的测量设备，包括光源(1)、用于使由所述光源(1)所辐射的光(5)聚焦到要测量的物体(6)上的投影光学装置(4)，此外还包括用于物点(6′)的在所述物体(6)上被反向散射并且穿过相同的投影光学装置(4)的光(7)的图像接收器(10)，该图像接收器具有至少两个对辐射敏感的传感器元件(13，14)(像素)，其特征在于，-至少两个传感器元件(13，14)被分配给通过投影光学装置(4，9)被照射的物点，-用于改变光学路径长度(d)的装置(11)被布置在光阑装置(3)和所述物体(6)之间的光路中，其中可以以预先给定的方式改变像平面的光学距离(d)，以及-设有装置，该装置如此影响在曝光时间间隔(T)期间所述至少两个传感器元件(13，14)中的电荷(Q13，Q14)的累积与观测光路(7)的光强，以致建立与所述投影光学装置(4)的像平面的光学距离(d)的关系，使得可以根据在曝光时间间隔(T)期间从所述至少两个传感器元件(13，14)所获得的强度值的分布来重构所述物体(6)的高度坐标(zs)。