发明名称 SiO DEPOSITION MATERIAL, Si POWDER FOR SiO RAW MATERIAL, AND METHOD FOR PRODUCING SiO
摘要
申请公布号 KR20070032044(A) 申请公布日期 2007.03.20
申请号 KR20077002807 申请日期 2007.02.05
申请人 发明人
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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