发明名称 Dry etching process and method for manufacturing magnetic memory device
摘要
申请公布号 KR20070031829(A) 申请公布日期 2007.03.20
申请号 KR20067003724 申请日期 2006.02.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L27/105 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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