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经营范围
发明名称
PLASMA ETCHING APPARATUS AND PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
KR20070031778(A)
申请公布日期
2007.03.20
申请号
KR20060017133
申请日期
2006.02.22
申请人
发明人
分类号
H01L21/3065
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
地址
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