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经营范围
发明名称
Pipe coupling apparatus of Semiconductor manufacturing equipment
摘要
申请公布号
KR20070031675(A)
申请公布日期
2007.03.20
申请号
KR20050086375
申请日期
2005.09.15
申请人
发明人
分类号
H01L21/00;H01L21/324
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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