大量流体递送系统中流体状态之控制

摘要

一种用于供应制程流体至半导体制程工具之改良大量流体分配。具有一交替压力容器引擎之改良系统大体上消除了该大量流体供应线中归因于配给容器中之流体重量变化而产生之压位差损失的压力波动。该系统亦使得能够灵活控制该流体供应线中之流体的流动状态。