形貌测量方法及其测量装置

摘要

一种形貌测量方法(surface profile measuring method)，系以一宽频光源经分光镜分束后，分别照射待测物体表面与一参考面，由两个表面之反射光产生干涉，以一固定步幅，改变物体表面与分光镜之距离，产生一高度值对应于光强度之干涉图谱。接下来，扫描此干涉图谱，找出对应于最大光强度之第一干涉条纹。然后，于第一干涉条纹及其附近之干涉条纹中，使用干涉图谱对称性原则，找出对称性最佳之一第二干涉条纹。随后，在此第二干涉条纹上，利用相位补偿法，计算出第二干涉条纹之波峰所对应之零光程差处，即为待测物体表面之高度值。