发明名称 镀膜治具及其镀膜载盘
摘要 一种镀膜治具,包括复数个镀膜载盘,该等镀膜载盘可独立使用或形成一直立式的堆叠,每一载盘具有一盘体,在盘体的表面形成一波浪状的构造,且盘体与水平面具有一既定之倾斜角,待镀之工件系置于盘体表面上波浪状构造的凹处。
申请公布号 TW200710252 申请公布日期 2007.03.16
申请号 TW094130864 申请日期 2005.09.08
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 吕明生;施进德;吴清勋
分类号 C23C14/50(2006.01) 主分类号 C23C14/50(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文;颜锦顺
主权项
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号