电子装置制造腔室及其形成方法

摘要

在一第一种态样中，提出一第一种多重部件腔室。第一种多重部件腔室包括：(1)一中心部件，具有一第一侧及一第二侧；(2)一第一侧部件，系与中心部件之第一侧耦合；以及(3)一第二侧部件，系与中心部件之第二侧耦合。当中心部件、第一侧部件及第二侧部件耦合在一起时，则形成一种实质为圆柱形之内腔室区域。该些部件可各别在其上方包括开孔，以及供该些部件耦合在一起的平面安装表面。本发明亦提出各种其他态样。