探针卡

摘要

本发明系于探针卡之同一面积之支撑板，形成比以往窄间距之导引孔，亦提升用以将探针销施力之弹性构件之选择自由度，以精细地进行高积体化元件之检查。于支撑板3之导引孔5内，插入具有弹性部13及销部12之探针销11，销部12之前端往支撑板3之下方突出，弹性部13之上端部接触电路基板之接触部2a。导引孔5系其水平剖面形状为长方形。于同一面积之支撑板3，相较于水平剖面形状为圆形之以往之导引孔之情况，可于同一面积内形成窄间距之导引孔，以窄间距安装探针销。于弹性构件无须使用线圈弹簧。