处理液与施加钝化层的方法

摘要

本发明揭示一种用于半导体晶圆之处理液，其包含水、钝化试剂及表面活性剂。该处理液可或与一清洗流体、冲洗流体混合或与一乾燥蒸气混合，且用在使用一Marangoni乾燥器之清洗装置中。