用于基材处理腔室之构件的局部表面退火

摘要

一种基材处理腔室构件具有一结构性本体，该结构性本体具有局部表面区域，该些局部表面区域具有经退火之微裂缝。该些经退火之微裂缝可以减少裂缝成长与增加碎裂阻抗性。在一制造方法中，该构件之结构性本体是藉由传统方式来形成，且一雷射束被导引至该本体之局部表面区域上而持续足够时间以退火该些表面微裂缝。